迎接微機電系統高速成長的時代

迎接微機電系統高速成長的時代(摘自易立達高科技網)

   《圖一》
   
成立於1984年的STS專注於電漿蝕刻（plasma etch）與沉積設備的技術，該公司已經來台參加過多次Semicon展，此次也藉機推出新一代CPX叢集作業平台，可共用一顆晶片之傳輸來進行多工作業。CPX延伸支援STS先進製程模組的全套作業平台，並簡化從研發到全面之製程轉移過程。目前該公司產品銷售遍及30多個國家，並在全球擁有超過850套系統的裝配群。
   
最近幾年微機電系統（MEMS）在各領域的應用越來越廣泛，STS的設備就是一種蝕刻機模組，STS業務與行銷總監David Haynes表示，該公司在1994年獲得關於採用連續蝕刻與沉積步驟的各向異性矽蝕刻（anisotropic silicon etching）的專利授權，並以此為基礎發展出目前的產品，同時該公司營業額迅速地從1995年的900萬美元增加至2001年的近8000萬美元。新款CPX叢集作業平台可以有效降低噴墨印表機讀取頭以及無線通訊設備等產品的生產成本。