DLP投影技術探微

DLP投影技術探微(摘自易立達高科技網)

   DLP（Digital Light Processing；數位光源處理）是由德州儀器（Texas Instruments；TI）以其研發的數位微鏡裝置（Digital Micromirror Device；DMD），所創造的一種全數位反射式投影技術。這是德州儀器的Larry Hornbeck博士於1987年所發明。
   
DLP晶片是先進的光開關，其含有約200萬個規則排列並相互鉸接的微型鏡片。數以萬計的鏡片組成一數位微顯鏡系統，每個微顯鏡的大小僅相當於頭髮絲的五分之一。
   
關於數位微鏡系統（DMD）
   
製造
   
DMD是Digital Micromirror Device的縮寫，即數位微鏡裝置。它是一種整合的微機電上層結構電路單元（MEMS superstructure cell），利用CMOS SRAM記憶晶胞所製成。DMD上層結構的製造是從完整CMOS記憶體電路開始，再透過光罩層的使用，製造出鋁金屬層和硬化光阻層（hardened photoresist）交替的上層結構，鋁金屬層包括位址電極（address electrode）、絞鏈（hinge）、軛（yoke）和反射鏡，硬化光阻層則做為犧牲層（sacrificial layer），用來形成兩個空氣間隙（air gaps）。鋁金屬會經過濺鍍沉積（sputter-deposited）以及等離子蝕刻（plasma-etched）處理，犧牲層則會經過等離子去灰（plasma-ashed）處理，以便製造出層間的空氣間隙。

關鍵字 : DLP,TI,德州儀器,德儀