KLA-Tencor推出探針式表面輪廓測量系統

KLA-Tencor推出探針式表面輪廓測量系統(摘自易立達高科技網)

   KLA-Tencor公司發布最新的探針式表面輪廓測量系統P-6，該系統針對光電太陽能電池製造等科學研究與生產環境，提供一組獨特的先進功能組合。P-6系統具備以先進半導體輪廓儀系統開發的測量技術優勢，但採用了較小、較經濟的桌面型機台設計，可接受最大至150釐米的樣本。
   KLA-Tencor成長與新興市場集團副總裁Jeff Donnelly表示：「我們很開心能推出P-6探針系統，該系統將為科學與太陽能客戶提供應用上最佳的功能組合。對於太陽能市場，P-6能夠在開發階段提高太陽能電池效率、監控生產製程品質所需的解析度、掃描品質以及自動控制能力。」
   P-6 探針式輪廓儀包含了KLA-Tencor自動化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能，包括低雜訊基底可改善對微小表面特徵的測量靈敏度、小於6埃的階高可重複性，確保了嚴苛的製程控制、150毫米 X-Y樣本載台可實現覆蓋整個基底的單一測量、2D應力測量與分析可將缺陷降至最低並提升良率及容易操作的分析軟體，能提供高階應用的靈活性。

關鍵字 : 太陽能,輪廓儀,KLA-Tencor,Eric Daniels,Jeff Donnelly,測試系統與研發工具