2008年7月14日 星期一
KLA-Tencor推出第十代電子束偵測系統
KLA-Tencor公司宣布推出 eS35電子束偵測系統，該系統能在更高的速度下檢測並分類更小的物理缺陷，以及更細微的電子缺陷。eS35屬於KLA-Tencor 的第十代電子束偵測系統，它具備更高的靈敏度，能改善單機檢查及分類，大幅強化吞吐能力，進而提升4Xnm和3Xnm產品的良率。
KLA-Tencor電子束技術部集團副總裁暨總工程師 Zain Saidin表示：「對於擷取和發現最小缺陷，以及那些只能透過電子特徵檢測到的缺陷，電子束偵測至關重要。隨著晶圓廠已開始研究4Xnm和3Xnm節點，我們的客戶反應現有的電子束偵測系統無法持續擷取某些缺陷類型，例如DRAM中的高縱橫比電容底部的微小殘留物、先進快閃式記憶體中的細微位元線橋接，或邏輯產品中的表面下短路或管線連接。KLA-Tencor身為為電子束偵測技術的領先企業，能夠利用我們豐厚的經驗和資源，不僅改善電子束系統本身，也運用奠基於我們頂尖光學偵測系統的專用影像計算技術，來解決此問題。因此，我們開發出了靈敏度和吞吐能力皆無與倫比的下一代電子束工具，讓晶圓廠能夠以高靈敏度在線內操作此工具。eS35旨在讓我們的客戶能夠儘可能快速、高效率地生產他們的新一代的產品。」
關鍵字 : 晶圓,電子束偵測系統,KLA-Tencor,Zain Saidin,半導體製造與測試
