2008年7月15日 星期二
羅門哈斯亞洲科技中心開幕
羅門哈斯電子材料(Rohm and Haas Electronic Materials)CMP Technologies事業部宣布在台灣新竹的亞洲科技中心(ATC)正式開幕。ATC的成立使CMP Technologies事業部更密切地與以亞洲為基地的客戶進行合作,並協助客戶最有效地使用高階 CMP製程與耗材,同時提供整個亞太地區的工程與技術支援。
ATC的特點是擁有一座能提供300mm CMP能力的應用實驗室以及精密300mm量度的10級與1000級的無塵室設施,並留有空間作為未來的擴充。ATC是為了支援世界領導級半導體製造商而成立的,目前ATC正與主要客戶共同研究發展高階技術和下一代CMP應用,例如高階32nm與22nm節點超低介電係數銅製程(Low K/Cu)、淺溝槽絕緣製程(STI)、鎢(W)製程與層間介電層製程(ILD)。
關鍵字 : CMP,羅門哈斯,製程材料類