2008年5月9日 星期五
FSI的ZETA噴霧清洗系統獲多家國際大廠訂單
全球IC製造晶圓清洗系統廠商FSI International，宣佈其具備ViPR技術的ZETA噴霧式清洗系統已接獲包括韓國、日本和歐洲等多家客戶的訂單。這些訂單均來自FSI ViPR製程的新用戶，顯示此一創新解決方案的市場正在持續成長中，這是由於ViPR技術可滿足光阻移除和矽化物形成過程中，先進IC製造對成本與整合能力的要求。這些在3月和4月接獲的訂單，預計將於2008會計年度第3季出貨。
「在過去的兩年中，我們成功地將ViPR技術應用在合作開發夥伴的生產製造上，而現在此一技術不但引起更多客戶的興趣並已接獲多家客戶的訂單。」FSI主席暨執行長Don Mitchell表示，「我們的ZETA ViPR技術正應用在全球最大的記憶體製造商和IC晶圓代工廠的12吋晶圓生產中；此外，我們也觀察到許多8吋晶圓廠對於可升級其技術同時降低製造成本的ViPR技術展現出高度興趣。」
關鍵字 : ViPR,ZETA,FSI International,半導體製造與測試
